Опрема за пушење магнетрона углавном се састоји од следећих делова:
1. Циљни материјал: Основна компонента опреме за пушење магнетрона, обично од метала, легура и других материјала.
2 Вакуумска комора: Оперативно окружење опреме за провлачење магнетрона потребно је извршити под високим вакуумским условима, а вакуумска комора игра улогу одржавања вакуума.
3. МАГНЕТРОН систем: Магнетно поље се користи за контролу ионског бомбардовања на површини циљног материјала за проузрокујући пуцкање.
4. Оквир подлоге: користи се за подршку материјала подлоге који ће се обрађивати.
5. Систем грејања: У неким случајевима циљни материјал и подлоге морају се загрејати за контролу процеса гушења.
