Машина за лампицу за усисавање често треба да користи масовни спектрометар за контролу процеса премаза, а циклотрон масени спектрометар је врста масовног спектрометра енергетског биланса. Заснован је на феноменону јона циклотрона резонанца у ортогоналним високим фреквенцијама - фреквенцијским електричним пољем и ДЦ магнетним пољем као њен принцип рада. Његов основни принцип предложио је Хиппле ет ал. 1949. године 1951. године, Тхомас и др. прво развио масени спектрометар. 1954. Алперт и др. Развио је једноставан циклотрон масени спектрометар који се може користити за анализу преосталог гаса под Ултра - високим вакуумом, што је увелико промовисало развој ултра - високе вакуумске технологије. 1960. године Клопфер је развио сложен циклотрон масени спектрометар који може уклонити утицај не- резонанца ионске пуњења. Осетљивост масеног спектрометра може остати непромењена у року од 10%, омогућавајући квантитативну анализу. Међутим, има недостатке тешког подешавања параметра, сложене структуре и тешко је у потпуности дезати унутрашњим електродама.
Пошто анализатор и јонски извор циклотрон масеног спектрометра коегзистира се у малом простору, електрично поље ће бити поремећено од стране не- резонантних јона. Стога, како би се превазилали дисторзирање електричних поља који је проузроковао не - резонантни јони, сложена цев - типа - тип циклотрон масела је на основу једноставног циклотронског масеног спектрометра, а његова перформанса је стабилнија од оне једноставне циклотрон масене спектрометар.
Главни параметри масеног спектрометра су: константна осетљивости, циклотронска резонантна фреквенција, максимални радијус који не- Резонантни јони масе М + △ м може доћи, резолуција, коначну енергију резонантних јона, дужине резонантних јона, време лета од резонантних јона и број циклотрона резонантних јона.
Његове предности и недостаци су:
1. Предности: мање делова, танких електрода, мале величине, мање оправдања и готово не "ефекат меморије", итд., Посебно погодан за резидуалну анализу гаса ултра - високе вакуумске мале количине.
2 Недостаци: незгодан рад, нелинеарни масовни стандард, потребно је магнетно поље потребно, сложено аутоматско снимање спектралних линија и немогућност употребе електрона мултипликатор за откривање, који ограничава минимални притисак на откривеном до детекту.
1960. године, факултет у Цхенгду, моја земља је прво успешно развила циклотрон масени спектрометар; 1963. године Институт за електронику Кинеске академије наука спровео је детаљну студију о радним карактеристикама једноставног циклотрон масеног спектрометра; 1965. године, Институт за физику физике кинеске академије науке развио је скуп једноставне опреме за масе циклотрона са квантитативном тачношћу од 20%, постављајући темељ за наредне истраживања и развој масених спектрометара за машине за оплате ион.
