Бела измаглица на унутрашњој страни радног предмета у машини за вакуумско премазивање је сложенија за изазивање него на спољашњој страни. Могући узроци укључују:
1. Проблеми са структуром филма: лабава стубна структура спољашњег филма или претерано груб спољашњи филм;
2. Прекомерни угао испаравања, што резултира грубом структуром филма;
3. Температурна разлика: Прекомерна температурна разлика између унутрашњег и спољашњег дела сочива када се уклони са премаза;
4. Влага: Влага у окружењу где је сочиво постављено након уклањања са премаза;
5. Прекомерна влага током одмрзавања ПОЛИЦОЛД-а у вакуум комори;
6. Непотпуна оксигенација током таложења паре, што резултира неуједначеном структуром филма;
7. Стрес између филмова.
Стратегије побољшања: Пошто постоји много узрока беле магле на спољашњој страни филма, сваки са својим карактеристикама, препоручују се циљана решења. Главне стратегије су: прво, учинити филм гушћим и глаткијим како би се спречила адсорпција; и друго, да се побољша животна средина како би се смањили објекти који се могу адсорбовати.
Стратегије побољшања:
1. Побољшајте систем филма додавањем силицијум диоксида у спољашњи слој како би површина филма била глатка и мање склона адсорпцији. Побољшајте животну средину током уклањања сочива (суво и чисто).
2. Смањите температуру сочива током уклањања (продужите време хлађења у вакуум комори) да бисте смањили температурну разлику и стрес.
3. Побољшати оксигенацију (повећати количину) и побољшати структуру филма.
4. Одговарајуће смањите брзину испаравања да бисте побољшали стубну структуру.
5. Користите премаз уз помоћ јона{1}}да бисте побољшали структуру филма.
6. Додајте мали вентил за гас током полихладног одмрзавања (његова функција је да брзо уклони влагу).
7. Побољшајте угао испаравања модификацијом извора испаравања и уређаја.
8. Побољшати храпавост површине подлоге.
9. Обратите пажњу на ниво вакуума током полихладног одмрзавања.
Бела измаглица се формира унутар слоја премаза на вакум{0}}обложеним радним предметима и не може се уклонити брисањем.
Могући узроци:
1. Прљава подлога, остатак од претходних процеса.
2. Контаминација корозије на површини сочива.
3. Некомпатибилност између материјала за премазивање и између материјала за премазивање и подлоге.
4. Недовољна оксигенација оксида.
5. Први слој премаза од цирконијум оксида може изазвати белу измаглицу на неким подлогама.
6. Контаминација подлоге влагом пре (после чишћења) пре инкапсулације.
7. Лоше чишћење или брисање, остављајући трагове чишћења или брисања.
8. Прљава вакуумска комора, прекомерна влага.
9. Висока влажност околине.
Стратегија побољшања: Сама подлога је вероватно примарни проблем, док премаз има за циљ да то надокнади. Најзначајнији проблем са самим премазом је вероватно компатибилност материјала премаза.
Мере побољшања:
1. Побољшати систем премаза; избегавајте коришћење цирконијум оксида као првог слоја.
2. Минимизирати време отварања вакуумске коморе; обезбедити темељно чишћење и припрему премаза између вакуум комора у најкраћем могућем року.
3. Након замене заштитне плоче и чишћења вакуум коморе, најбоље је извршити процес вакуумског печења са празном комором. Замењене заштитне плоче и друге компоненте вакуум коморе морају бити суве и чисте.
4. Побољшати животну средину.
5. Прописно заштитите сочива на плочама у облику кишобрана-пре него што уђу у вакуумску комору од контаминације.
6. Побољшајте ефекте чишћења и брисања.
7. Побољшајте компатибилност премаза (размислите о употреби Ал2О3 за први слој).
8. Побољшати оксигенацију и стопе испаравања премаза (смањити их).
9. Убрзајте ток посла-пре обраде. Појачајте заштиту већ обрађених полираних површина у фази пре{3}}прераде.
10. Полиране површине морају се очистити одмах након полирања; никакав прашак за полирање или друге нечистоће не би требало да се лепе и осуши.
