Јонска обрада користи гасно пражњење у условима вакуума за јонизацију гаса или испареног материјала. Под бомбардовањем јона гаса или јона материјала који испарава, испарени материјал или његови реактанти се таложе на радни предмет. Ово укључује јонско полагање магнетронским распршивањем, реактивно јонско превлачење, јонско превлачење шупљом катодом (испаравање шупље катоде) и вишелучно јонско полагање (катодно лучно јонско превлачење). Јонска обрада комбинује сјајно пражњење и плазма технологију са вакуумским испаравањем, значајно побољшавајући перформансе премаза и проширујући његову примену. Осим што дели предности вакуумског распршивања, јонска обрада нуди јаку адхезију филма, одлична својства дифракције и широк спектар материјала за облагање.
Сходно томе, последњих година је доживела брзи развој како на домаћем тако и на међународном плану. Основни принцип јонског облагања је јонизација паре метала или легуре коришћењем сјаја или лучног пражњења из инертног гаса. Јонска обрада укључује загревање, испаравање и таложење материјала за облагање (као што су ТиН и ТиЦ).
Како испарени атоми материјала превлаке пролазе кроз зону сјаја, мали део се јонизује и под утицајем електричног поља лети према радном комаду, ударајући о површину са енергијама од неколико хиљада електрон волти. Они могу да продру у подлогу до дубине од неколико нанометара, значајно побољшавајући адхезију премаза. Удружени атоми испареног материјала се директно наносе на радни предмет да би се формирао филм. Распршивање јона инертног гаса и јона материјала за облагање на површини радног предмета такође уклања загађиваче, чиме се побољшава приањање.
Технологије које користе машине за јонско вакуумско облагање, машине за облагање испаравањем и машине за облагање магнетронским распршивањем су различите. Ови принципи технологије премаза такође имају своје предности. Различите методе премазивања могу се одабрати према радном комаду премаза и слоју филма како би се задовољила потражња тржишта.
