
Принцип облагања вакуумске цеви у машинама за вакуумско облагање је да се електрони, убрзани према подлози под утицајем електричног поља, сударају са атомима аргона, јонизујући у велики број аргонових јона и електрона. Електрони тада лете према супстрату. Јони аргона, убрзани електричним пољем, бомбардују циљни материјал, распршујући велики број циљних атома, који се, као неутрални циљни атоми (или молекули), таложе на супстрат и формирају филм. Секундарни електрони, током њиховог убрзања према супстрату, су под утицајем Лоренцове силе магнетног поља и ограничени су на област плазме близу површине мете. Овај регион има велику густину плазме, а секундарни електрони се под утицајем магнетног поља крећу кружним покретом око површине мете.
Ова дуга путања кретања укључује континуиране сударе са атомима аргона, јонизујући у велики број аргонових јона који бомбардују циљни материјал. Након вишеструких судара, електрони постепено губе енергију, ослобађају се од линија магнетног поља, удаљавају се од циљаног материјала и коначно се таложе на подлогу. Сада, уз додатак магнетронске мете средње{2}}средње фреквенције, молекули филма који испаравају се убрзавају и бомбардују материјалом мете под дејством електричног поља, распршујући велики број циљних атома.
Неутрални циљни атоми (или молекули) се таложе на подлогу како би формирали филм, што решава проблем типова филмова који се у прошлости нису могли обрадити природним испаравањем, као што су титанијумско превлачење, цирконијум, итд.
Тренутно се алуминијум{0}}композитни филм од азота обично користи у вакуумским цевима. Читав филм се састоји од три слоја: унутрашњег, средњег и спољашњег, од којих сваки има своју функцију. Унутрашњи слој је рефлектујући слој, чија је главна функција да спречи да топлота из топле воде у цеви зрачи напоље.
Средњи слој је апсорпциони слој, чија је главна функција да апсорбује светлосну енергију и претвара је у топлотну енергију.
Спољни слој је анти-слој, чија је главна функција да смањи рефлексију сунчеве светлости и повећа стопу апсорпције сунчеве светлости.
