Неколико уобичајених јонских извора у процесу премаза машина вакуумских машина

Да би се побољшали адхезија, сила за лепљење и филмску структуру обратка, многе машине за вакуум превлаке су опремљене ионским изворима током процеса премаза.
Иако постоји много врста извора ИОН-а, њихова сврха није ништа друго до чишћење на мрежи, побољшање дистрибуције енергије и модулације ослобађане површине како би се повећала енергија реакционог гаса. ИОН Извор може у великој мери побољшати снагу везивање између филма и подлоге и такође може побољшати тврдоћу и отпорност на хабање филма. Ако је ношење - отпорног слоја алата за електроплатирање генерално дебљи, а уједначена вредност филма није висока, ионски извор са већим ионским струјом и већим нивоом енергије, као што је хала Ион Извор или Аноде Ион Извор, може се користити.
Начело извора јона Анодни слој је сличан оној Халл Ион извора. Поред прстенасте (правоугаоног или кружног) уске прореза додаје се побољшаним магнетним пољем, а радни гас је јонизован и емитовати на радни део под деловањем аноде. Извор ионског слоја Аноде може се постићи веома велик и дуг, који је посебно погодан за електроплирање великих делова као што су архитектонски чак. ИОН струја извора јона Аноде је такође велика. Међутим, ионски проток је дивергентан и дистрибуција енергије је преширока. Опште је погодно за велике радне дела, стакло, троше се - отпорне и украсне радне дела. Али нема много апликација у напредним оптичким премазима.
Овај вакуумски момак је опремљен хал ионском извором, где анода и снажно аксијално магнетно терен раде заједно на јонизовању процесног гаса. Снажна неравнотежа аксијалног магнетног поља раздваја ионице гаса да би формирали ионску греду. Будући да је аксијално магнетно поље прејало, хала Ион Извор Ионска греда мора бити допуњена електронима да неутралише проток јона. Уобичајени извор неутрализације је волфрам филамент (катода).