Иако постоји много врста јонских извора, њихова сврха је у суштини иста: чишћење на мрежи, побољшање дистрибуције енергије на обложеној површини и модулација енергије реактантног гаса. Извори јона могу значајно побољшати чврстоћу везе између филма и подлоге, док такође побољшавају тврдоћу филма и отпорност на хабање и корозију. За слојеве отпорне на хабање- алата, који су генерално дебљи и не захтевају велику униформност у дебљини филма, могу се користити јонски извори са већим нивоом јонске струје и енергије, као што су извори Холових јона или извори јона анолита.
Анодни јонски извори раде на принципу сличном Холовим јонским изворима. Унутар уског прстенастог (правоугаоног или кружног) прореза примењује се јако магнетно поље, јонизујући радни гас под утицајем аноде и усмеравајући га ка радном предмету. Анодни јонски извори могу бити веома велики и дугачки, што их чини посебно погодним за облагање великих радних комада, као што је архитектонско стакло. Они такође нуде релативно велику јонску струју. Међутим, њихова јонска струја је дифузнија, а расподела нивоа енергије је преширока. Обично су погодни за велике радне предмете, стакло, абразивне површине и декоративне компоненте. Међутим, њихова примена у напредним оптичким премазима није широко распрострањена.
Иако постоји много врста јонских извора, њихова сврха је у суштини иста: чишћење на мрежи, побољшање дистрибуције енергије на обложеној површини и модулација енергије реактантног гаса. Извори јона могу значајно побољшати чврстоћу везе између филма и подлоге, док такође побољшавају тврдоћу филма и отпорност на хабање и корозију. За слојеве отпорне на хабање- алата, који су генерално дебљи и не захтевају велику униформност у дебљини филма, могу се користити јонски извори са већим нивоом јонске струје и енергије, као што су извори Холових јона или извори јона анолита.
Анодни јонски извори раде на принципу сличном Холовим јонским изворима. Унутар уског прстенастог (правоугаоног или кружног) прореза примењује се јако магнетно поље, јонизујући радни гас под утицајем аноде и усмеравајући га ка радном предмету. Анодни јонски извори могу бити веома велики и дугачки, што их чини посебно погодним за облагање великих радних комада, као што је архитектонско стакло. Они такође нуде релативно велику јонску струју. Међутим, њихова јонска струја је дифузнија, а расподела нивоа енергије је преширока. Обично су погодни за велике радне предмете, стакло, абразивне површине и декоративне компоненте. Међутим, њихова примена у напредним оптичким премазима није широко распрострањена.
Холов извор јона у амашина за вакуумско облагањејонизује процесни гас уз помоћ јаког аксијалног магнетног поља. Јака неравнотежа овог аксијалног магнетног поља раздваја јоне гаса и формира јонски сноп. Због јачине аксијалног магнетног поља, јонском снопу извора Холових јона потребни су додатни електрони да неутралише ток јона. Уобичајени извор неутрализације је волфрамова нит (катода).
