Цоммонвише-опрема за вакуумско облагање са јонским облагањемкористи или лучно бомбардовање или чишћење јонима аргона. Које су специфичне разлике између њих?
Једно је чишћење металних јона, а друго чишћење гасних јона; нивои енергије су различити, а различити су и принципи. Данас ће вам Пуиуан Вацуум дати детаљан увод:
Више-јонско облагање користи методу електричног лучног пражњења за директно испаравање метала на чврсту катодну мету. Испарени материјал се састоји од јона из катодног материјала који се емитују током пражњења катодног лука. Овај уређај не захтева растопљени базен; мета која треба да се испари је повезана са катодом, а вакуумска комора делује као анода. Када електрода окидача изненада и тренутно дође у контакт са метом катоде, индукује се лук, стварајући јарко светлећу тачку катодног лука на површини катоде. Пречник тачке је мањи од 100 µм, а густина струје унутар тачке може да достигне 10³~10⁷ А/цм². Материјал у овом региону тада тренутно испарава и јонизује. Тачка катодног лука се насумично креће по површини катоде брзином од десетине метара у секунди. Спољно магнетно поље се користи за контролу путање и брзине тачке. Да би се одржао вакуумски лук, генерално је потребан напон од -20 до -40 В.
Принцип више- јонске пластике заснован је на теорији вакуумског лучног пражњења хладне катоде, која поставља да се пренос наелектрисања током процеса пражњења постиже истовременим постојањем и међусобним ограничењем два механизма: емисије електрона у пољу и струје позитивних јона. Током процеса пражњења, велика количина катодног материјала испарава. Позитивни јони које стварају ови молекули паре стварају изузетно јако електрично поље на малој удаљености близу површине катоде. Под утицајем овог јаког електричног поља, електрони се емитују у вакуум као електрони поља. Позитивни јони могу чинити око 10% укупне струје лука. Метални јони привучени површином катоде формирају слој просторног набоја, који заузврат генерише јако електрично поље, узрокујући да тачке на површини катоде са ниском радном функцијом (границе зрна или пукотине) почну да емитују електроне. Појединачне тачке са великом густином електронске емисије имају велику густину струје. Загревање у џулу подиже температуру, генеришући термоионске електроне, додатно повећавајући емисију електрона. Овај ефекат позитивне повратне спреге изазива локализовану концентрацију струје.
Јоуле загревање изазвано овом локализованом концентрацијом струје изазива локализовано формирање експлозивне плазме на површини материјала катоде, емитујући електроне и јоне и остављајући трагове пражњења. Такође се ослобађају честице растопљеног катодног материјала. Неки од емитованих јона се привлаче назад на површину катоде, формирајући слој просторног набоја, стварајући јако електрично поље, што заузврат узрокује да нове тачке са ниском радном функцијом почну да емитују електроне.
Технологија опреме за вакуумско облагање са више-јонским облагањем има следеће карактеристике:
Предности: Може се поставити произвољно како би се осигурала уједначена дебљина филма. Екстерно магнетно поље побољшава пражњење лука; разбија лук; повећава брзину ротације; рафинише филмске честице; и убрзава наелектрисане честице. Висока стопа јонизације метала је корисна за уједначеност филма и адхезију, што га чини оптималним процесом за јонско наношење. Један лук служи за више намена: делује као извор испаравања, извор пре-пречишћавања пред бомбардовањем и извор јонизације.
Недостаци: При великој снази се лако стварају велике металне честице, што утиче на квалитет премаза; а на неким циљним материјалима јавља се нестабилност лучног пражњења.
Методе за смањење стварања капљица укључују: смањење густине снаге пражњења, повећање брзине тачке лука, јачање мера хлађења катоде и коришћење магнетне филтрације.
