Радни кораци машине оптичке премазе укључују више веза. Следе детаљне кораке рада:
1. Прелиминарна припрема
Проверите стање машине:
Проверите да ли је машина за оптичку премазу у нормалном радном стању, укључујући да ли је напајање, извор гаса, систем хлађења итд.
Уклоните крхотине унутар и око машине, посебно остатке за испаравање, како би се осигурало чисто радно окружење.
Припрема материјала:
Изаберите Хигх - квалитетна оптичка сочива или друге материјале које је потребно обложити.
Припремите материјале за испаравање, као што су метални циљеви, како би се осигурало да чистоћа и квалитет материјала испуњавају захтеве.
Припрема опреме:
Припремите потребну опрему за превлачење као што су вакуумски филмови дебљине филма, вакуумске пумпе и ионске изворе.
Проверите да ли је опрема нетакнута како би се осигурало да нормално може да ради.
Припрема животне средине:
Осигурајте да се комора за облагање чврсто затвори и не постоји цурење ваздуха.
Припремите алате за чишћење као што су течност за чишћење и деионизовану воду, као и брушење, деконтаминација и остали алати.
2 Пре - лечење премаза
Полирање:
Фино пољски оптички објектив за уклањање ситних депресија и нечистоћа на површини.
Чишћење:
Користите специјалну течност за чишћење и ултразвучну опрему за чишћење да бисте очистили оптички објектив како бисте осигурали да је површина чиста.
Након чишћења исперите са деионизираном водом да бисте уклонили заосталу течност за чишћење.
Вакуум гријање:
Ставите чишћену сочиву у вакуумску комору и загревајте сочиво електричним грејањем.
Гас адсорбује на површини је упарен и испуњен да би се осигурала чистоћа окружења премаза.
3. Операција премаза
Подесите параметре процеса:
Према захтевима премаза, поставите одговарајуће параметре процеса, као што су температура испаравања, брзина испаравања, вакуумска диплома итд.
Процес испаравања:
Додајте материјал за испаравање на извор испаравања, као што је Волфстен Филамент.
Укључите извор испаравања, извршите процес испаравања и ослободите активне атоме.
Таложење филма:
Користите изворе енергије као што су ИОН извори или електронске греде у вакуумској комори да положите испарене атоме или молекуле на површини сочива.
Током поступка таложења, мерење дебљине вакуумског филма користи се за праћење дебљине филма у реалном времену како би се осигурало испуњени унапред одређени услови.
Помоћни загревање:
Током процеса таложења, можда ће бити потребно користити помоћно технологију грејања за загревање површине супстрата у себе - температуру кондензације филмског слоја, који погодује кондензацији и учвршћивању филмског слоја.
4. Пост - лечење премаза
Хлађење:
Када је поступак премаза завршен, искључите изворе енергије као што су извор испаравања и извор ИОН-а.
Дозволите да се вакуум комори природно охлади на собну температуру или користи принудно хлађење како би убрзао процес хлађења.
Извадите радни комад:
Након ваздушног притиска у вакуумској комори враћа се у нормалан притисак, отворите врата вакуумске коморе и извадите обложену сочиву.
Чишћење и инспекција:
Очистите обложену сочиву да бисте уклонили нечистоће које могу остати на површини.
Проверите квалитет премаза, укључујући да ли је дебљина филма, једноличност, оптичка перформанса итд. Испуњава захтеве.
5. Одржавање и нега
Очистите комору за реакцију:
Редовно чистите унутрашњост реакционе коморе и компоненти попут грејне плоче за уклањање заосталих материјала за испаравање и нечистоће.
Замена делова:
Према употреби опреме, редовно замените делове са тешким хабањем, као што су извор испаравања, Ион Извор итд.
Одржавање:
Извршите свеобухватно одржавање опреме, укључујући проверу да ли је напајање, извор гаса, систем хлађења итд. Ради исправно.
Калибрирајте и редовно исправљате опрему како би се осигурала тачност премаза и стабилност.
Горе наведени су основни расивни кораци машине за оптичку премазивање. Машине за оптичке премазе различитих модела и спецификација могу имати различите специфичне операције. Стога у стварном процесу рада, приручник за опрему треба строго уследити и треба поштовати одговарајуће безбедносне прописе и оперативне процедуре.
